基本情報

事業内容

半導体製造装置メーカー。成膜プロセス（バッチ成膜装置/ラージバッチ・ミニバッチ）、トリートメント（膜質改善）プロセス（トリートメント装置/酸窒化トリートメント装置、アニール装置）を軸に事業を展開。

・成膜プロセス装置（ミニバッチ成膜装置「TSURUGI（剱）」、ラージバッチ成膜装置、200mmウェーハ対応バッチサーマルプロセス装置）

・トリートメントプロセス装置/膜質改善（枚葉トリートメント装置、窒化・酸化・アニール装置）

データ提供: マーケットシステム24

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