基本情報

事業内容

半導体製造装置メーカー。成膜プロセス装置（ミニバッチ・ラージバッチ成膜装置）、トリートメント/膜質改善プロセス装置（窒化・酸化・アニール対応、枚葉・ラージバッチトリートメント装置）の製造販売。

・成膜プロセス装置（ミニバッチ成膜装置「TSURUGI（剱）」、ラージバッチ成膜装置「AdvancedAce」、ラージバッチEPI成膜装置）

・トリートメントプロセス装置/膜質改善（枚葉トリートメント装置「MARORA」、ラージバッチトリートメント装置）

データ提供: マーケットシステム24

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