基本情報

事業内容

化合物半導体製造装置メーカー。簿膜技術を基盤に薄膜形成（CVD装置）、微細加工（ドライエッチング装置）、洗浄・表面処理（ドライ洗浄装置）の3分野装置の開発・製造・販売。

・CVD装置（ALD装置/原子層堆積装置、プラズマCVD装置、液体ソースCVD装置/シリコン酸化膜・シリコン窒化膜形成用）

・ドライエッチング装置（ICPエッチング装置、シリコン深掘り装置、RIE装置、XeF2ドライエッチング）

データ提供: マーケットシステム24

決算 2024年7月期中間決算、経常損益1,063百万円。IFISコンセンサスを下回る水準。
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2024/01/20 17:00
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